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簡(jian)要描(miao)述：元器件高低溫測(ce)(ce)試裝(zhuang)置(zhi)在(zai)用于惡(e)劣(lie)環(huan)境的(de)(de)半導體電(dian)子元件的(de)(de)制造中(zhong)，IC封裝(zhuang)組裝(zhuang)和(he)工(gong)程和(he)生產的(de)(de)測(ce)(ce)試階(jie)段包括在(zai)溫度（-85℃至+ 250℃）下的(de)(de)電(dian)子冷熱測(ce)(ce)試和(he)其(qi)他環(huan)境測(ce)(ce)試模擬(ni)。光刻機溫度控制裝(zhuang)置(zhi)該如(ru)何選型
產(chan)品型(xing)號(hao)：AES-4535廠商性(xing)質(zhi)：生產廠家更新時間：2024-01-07訪 問 量：1604| 品牌 | LNEYA/無錫冠亞 | 冷卻方式 | 風冷式 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 5萬-10萬 | 產地類別 | 國產 |
| 儀器種類 | 一體式 | 應用領域 | 化工,電子,航天,制藥,汽車 |
| 型號 | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 溫度范圍 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 溫度轉換時間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
| 空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃ 0～50%RH | |||||
| 空氣處理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 壓力5bar～7.6bar | |||||
| 系統壓力顯示 | 制冷系統壓力采用指針式壓力表實現（高壓、低壓） 循環系統壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上 | |||||
| 控制器 | 西門子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 溫度控制 | 控制出風口溫度 | |||||
| 可編程 | 可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟 | |||||
| 通信協議 | 以太網接口TCP/IP協議 | |||||
| 設備內部溫度反饋 | 設備出口溫度、制冷系統冷凝溫度、環境溫度、壓縮機吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設備有） | |||||
| 溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
| 壓縮機 | 法國泰康/艾默生 | |||||
| 蒸發器 | 套管式換熱器 | |||||
| 加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥過濾器、油分離器、高低壓保護器、膨脹閥、電磁閥） | |||||
| 操作面板 | 無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數據導出 | |||||
| 安全防護 | 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、冷凍機過載保護；高壓壓力開關，過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。 | |||||
| 制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
| 外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（風）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 風冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風機采用德國EBM軸流風機 | |||||
| 水冷型 W | 帶W型號為水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式換熱器（務必確保冷卻水清潔） | |||||
| 冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
| 電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外殼材質 | 冷軋板噴塑 （標準顏色7035） | |||||
| 溫度擴展 | 高溫到 +300℃ | |||||
光刻機溫度控制裝置該如何選型
光刻機溫度控制裝置該如何選型
如何選擇合適的工業冷水機組，在機組的設計上又應該注意哪些方面呢?
1. 使用光刻機溫度控制裝置還是水冷式冷水機
工業冷水機組的冷凝方式分為風冷式和水冷式，對應的設備也常被稱為光刻機溫度控制裝置組和水冷式工業冷水機組，光刻機溫度控制裝置組的選型先要考慮是否適合采用風冷的冷凝方式
2. 確定制冷量需求
需要計算待控溫設備實際應用所需要的制冷量是多少，通常可以根據客戶所提供的制冷量或壓縮機功率要求來直接確定，也可以根據實際工藝情況和經驗來進行估算，需要注意的是通常所說光刻機溫度控制裝置組的制冷量指的是額定制冷量，還需要結合實際環境溫度等因素來計算。
3. 蒸發器的選擇
蒸發器類型：盤管式蒸發器 / 殼管式蒸發器 / 板式換熱器
蒸發器材質: 被冷卻液體（載冷劑）是否有耐酸耐堿等防腐要求，需要采用不銹鋼、鈦管等特殊材料
4. 循環水泵的選擇
應結合應用設備的管道、安裝距離、控溫精度等因素來確定光刻機溫度控制裝置組中冷凍水循環泵的流量及揚程。
光刻機溫度控制裝置的選型還有其他許多需要注意的方面，如供電電壓、冷媒是否有要求等等，在此不再一一贅述。
