光刻機制(zhi)冷(leng)機組的種類有(you)很多，各有(you)各的特點，用戶需(xu)要根(gen)據使用需(xu)求(qiu)選擇適合(he)的光刻機制(zhi)冷(leng)機組。那(nei)么到底有(you)哪些光刻機制(zhi)冷(leng)機組呢？

　　1、根(gen)據機型構造光刻(ke)機制冷機組根(gen)據冷卻方式(shi)的(de)差異，也被分成(cheng)了(le)風(feng)冷式(shi)和(he)水冷式(shi)。

　　2、冷卻介質有鹽(yan)水，乙二醇等(deng)等(deng),也可以(yi)根據冷(leng)卻介質的不同進行分(fen)類。

　　3、光刻(ke)機制冷機組的壓(ya)縮機為活塞式、離心式,、渦旋式(shi)(shi)、螺桿式(shi)(shi)，我們也(ye)(ye)可以(yi)根(gen)據(ju)(ju)光刻機(ji)制冷機(ji)組(zu)壓(ya)縮機(ji)對其(qi)進行分(fen)類(lei)(lei)。此外，光刻機(ji)制冷機(ji)組(zu)的蒸發器(qi)也(ye)(ye)有很(hen)多(duo)類(lei)(lei)型(xing)(xing)，也(ye)(ye)可以(yi)根(gen)據(ju)(ju)蒸發器(qi)類(lei)(lei)型(xing)(xing)差(cha)異(yi)對其(qi)進行劃分(fen)。根(gen)據(ju)(ju)出水溫(wen)度又或(huo)是制冷原(yuan)理的不同，又被(bei)分(fen)成了吸收式(shi)(shi)和(he)壓(ya)縮式(shi)(shi)。

　　4、在更換的時候，需(xu)要先取下(xia)連(lian)接(jie)壓縮(suo)機排(pai)氣管(guan)(guan)(guan)和吸氣管(guan)(guan)(guan)的連(lian)接(jie)管(guan)(guan)(guan)道(dao)，由于連(lian)接(jie)冷凝器和管(guan)(guan)(guan)道(dao)距(ju)離較近，不容易(yi)從管(guan)(guan)(guan)口中取出，因(yin)此應先取下(xia)連(lian)接(jie)壓縮(suo)機排(pai)氣管(guan)(guan)(guan)和吸氣管(guan)(guan)(guan)的管(guan)(guan)(guan)道(dao)。

　　5、安裝四通閥閥體(ti)的時候，可以使(shi)用焊槍加熱(re)連接四通間根部3根(gen)管道(dao)的(de)管口(kou)，使表面剩余焊料充分熔(rong)化、流動直至(zhi)掉下，使管口(kou)表面光滑，這樣能順利插入(ru)至(zhi)四通閥管口(kou)。因(yin)焊接時難點在(zai)于根(gen)部的(de)3個管道，可(ke)將連接壓縮機排氣管的(de)管道扳到一(yi)邊，待焊接3個管口后再焊接連接壓縮機排氣管的管口。

　　6、由于(yu)四(si)通(tong)間中間管道(dao)(dao)難(nan)焊(han)接(jie)(jie)(jie)，應首(shou)先焊(han)接(jie)(jie)(jie)中間管道(dao)(dao)，再焊(han)接(jie)(jie)(jie)兩側管道(dao)(dao)，接(jie)(jie)(jie)著焊(han)接(jie)(jie)(jie)連(lian)接(jie)(jie)(jie)壓縮機排氣管的(de)管道(dao)(dao)，安(an)裝和(he)焊(han)接(jie)(jie)(jie)接(jie)(jie)(jie)連(lian)壓縮機排氣管管口之(zhi)后，四(si)個接(jie)(jie)(jie)口焊(han)接(jie)(jie)(jie)完成啦(la)

7、安裝完光刻機制(zhi)冷(leng)機組的(de)四通閥之后(hou)，需(xu)要注意(yi)制(zhi)冷(leng)系統的(de)撿(jian)漏(lou)工作，撿(jian)漏(lou)結束再(zai)投入使(shi)用。