光(guang)刻機(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)用(yong)低(di)溫冷水(shui)機(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)組多運用(yong)于各個行業之中，很多行業都需要購買(mai)光(guang)刻機(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)來進行作業，這(zhe)也涉及(ji)到光(guang)刻機(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)用(yong)低(di)溫冷水(shui)機(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)組的日(ri)常維護(hu)。

　　1、光刻機(ji)用(yong)低溫冷水機(ji)組組冷卻系統的基本部件(jian)有：冷凝器(qi)、受液器(qi)、干燥過(guo)濾器(qi)、蒸發器(qi)、熱膨(peng)脹(zhang)閥等等。

　　2、光刻機(ji)用(yong)低(di)溫(wen)(wen)冷(leng)水(shui)(shui)機(ji)組(zu)組(zu)是將常溫(wen)(wen)的水(shui)(shui)通過冷(leng)水(shui)(shui)機(ji)的壓縮(suo)機(ji)制(zhi)冷(leng)到(dao)溫(wen)(wen)度以強化冷(leng)卻模具或(huo)機(ji)器，作為(wei)單機(ji)使用(yong)，散熱裝(zhuang)置(zhi)為(wei)內置(zhi)之風(feng)扇，主要有三個相(xiang)互聯系(xi)的系(xi)統(tong)(tong)：制(zhi)冷(leng)劑循(xun)環系(xi)統(tong)(tong)、水(shui)(shui)循(xun)環系(xi)統(tong)(tong)、電器自控系(xi)統(tong)(tong)。

　　3、光(guang)刻機用低溫冷水(shui)機組蒸發(fa)器中的(de)液(ye)態(tai)(tai)制冷劑(ji)(ji)吸收水(shui)中的(de)熱量并開(kai)始蒸發(fa)，終(zhong)制冷劑(ji)(ji)與水(shui)之間形(xing)成溫度(du)差，液(ye)態(tai)(tai)制冷劑(ji)(ji)亦蒸發(fa)變為(wei)氣(qi)態(tai)(tai)，后被(bei)壓縮機吸入并壓縮（壓力和溫度(du)增加）,氣態制(zhi)冷(leng)(leng)劑(ji)(ji)通(tong)過冷(leng)(leng)凝器釋放熱(re)量(liang)，凝結(jie)成(cheng)液體(ti)。通(tong)過膨脹閥（或毛細管）節流后(hou)變成(cheng)低(di)溫低(di)壓(ya)制(zhi)冷(leng)(leng)劑(ji)(ji)進入(ru)蒸發器，完成(cheng)制(zhi)冷(leng)(leng)劑(ji)(ji)循環過程(cheng)。

　　4、定(ding)期清洗(xi)冷(leng)(leng)凝器、蒸發(fa)器，使(shi)整機(ji)(ji)保持良好運轉；保持光(guang)刻機(ji)(ji)用低溫冷(leng)(leng)水機(ji)(ji)組冷(leng)(leng)卻塔(ta)清潔干凈(jing)，定(ding)期清洗(xi)，冷(leng)(leng)卻塔(ta)內不得有(you)雜(za)物及其(qi)它(ta)障(zhang)礙物，以(yi)免造(zao)成傷害。

　　5、光刻機用低溫冷水(shui)機組的(de)冷凍水(shui)泵(beng)不可在(zai)水(shui)箱內(nei)無(wu)水(shui)運轉；操作(zuo)開關請盡理(li)避免連續切換。

6、水溫達到(dao)設(she)定溫度時，壓(ya)縮機會自(zi)動(dong)停止運行(xing)，此屬正常(chang)現象；溫度開(kai)關應避免(mian)設(she)定在5℃以下，防(fang)止蒸發器結(jie)冰。